簡要描述:半導(dǎo)體封裝材料高低溫探針臺,可用于12英寸以內(nèi)樣品測試,采用密閉腔結(jié)構(gòu),屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫時無結(jié)霜。
產(chǎn)品分類
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品牌 | 北京華測 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子,電氣,綜合 |
Huace-6S 高低溫探針臺
半導(dǎo)體封裝材料高低溫探針臺特點/應(yīng)用
◆ zuida可用于12英寸以內(nèi)樣品測試
◆ 采用密閉腔結(jié)構(gòu),屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫時無結(jié)霜
◆ 優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量
◆ 可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡
◆ 可搭配多種類型顯微鏡
◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計,可無縫升級
◆ 探針臺可根據(jù)客戶要求定制。
半導(dǎo)體封裝材料高低溫探針臺技術(shù)參數(shù)
臺體規(guī)格 | |
樣品臺尺寸 | 6英寸/8英寸/12英寸 |
水平旋轉(zhuǎn) | 可360°旋轉(zhuǎn),可微調(diào)15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置 |
X-Y移動行程 | 6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸 |
X-Y移動精度 | 10μm/1μm |
樣品固定 | 真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環(huán) |
針座平臺 | U型針座平臺,zuiduo可放置6-12個探針座 |
平臺升降 | 可快速升降10mm/可微調(diào)升降10mm |
背電極測試 | 樣品臺電學(xué)獨立懸空,4mm插孔可接背電極 |
溫度范圍 | 負80°到正400° |
溫控精度 | 0.01°/0.1°/1° |
設(shè)備重量 | 約20KG/30KG |
光學(xué)系統(tǒng) | |
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動行程 | 水平方向繞立柱旋轉(zhuǎn)/XY軸移動4英寸,Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
定位器 | |
X-Y-Z移動行程 | 12mm*12mm*12mm |
移動精度 | 10μm/2μm/0.7μm/0.5μm |
吸附方式 | 磁力吸附,真空吸附 |
線纜 | 同軸線/三軸線 |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
針尖直徑 | 0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm |
針尖材質(zhì) | 鎢鋼;鈹銅 |
可選附件:
加熱臺;
顯示器;
轉(zhuǎn)接頭;
射頻測試配件;
屏蔽箱;
光學(xué)平臺;
鍍金卡盤;
光電測試配件;
高壓測試配件;
顯微鏡快速傾仰裝置;
激光系統(tǒng);
探針卡夾具;
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