手動探針臺的應(yīng)用范圍
HCMP微型真空探針臺手動探針臺是一款專門用于材料電學(xué)表征和測量的微型桌面型電學(xué)測量臺,主要用于介電、壓電、鐵電、熱釋電、光電等材料的電學(xué)表征和測量,還可以在真空、氣氛環(huán)境下對材料進(jìn)行電學(xué)測量評估,是實(shí)驗(yàn)室測量薄膜材料電學(xué)材料常用工具,廣泛用于高校、科研、航天航空、軍工院所等領(lǐng)域。
功能特點(diǎn):
1、無人機(jī)外觀設(shè)計開發(fā),讓低溫探針臺小巧精密;
2、XYZ三維移動平臺的開發(fā),位移分辨率10um以下;
3、電聲制冷機(jī)制冷加熱一體化平臺應(yīng)用開發(fā);
4、液氮制冷加熱一體化平臺應(yīng)用開發(fā);
5、利用機(jī)械彈性設(shè)計,低溫環(huán)境下也有彈性,避免在探針壓薄膜樣品是損壞薄膜;
6、實(shí)現(xiàn)-160℃~450℃的制冷和加熱測量環(huán)境,控溫精度達(dá)到±0.5℃;
7、采用1000X放大鏡顯微鏡設(shè)計,有利于實(shí)時觀察樣品的測量狀態(tài);
8、廣泛用于復(fù)雜、高速器件的精密電器測量,可靠性高;
9、高低溫平臺、測量夾具、測量軟件等集成于一體,讓操作變得簡單;
10、可以通過USB傳輸數(shù)據(jù),數(shù)據(jù)格式為Excel格式。
應(yīng)用場景:晶圓芯片高低溫測試
測試類型:IV/CV/RF
樣品臺:4英寸
溫度范圍:77K-673K
真空度:10E-4Pa
顯微鏡類型:單筒、體視、金相顯微鏡
探針臂數(shù)量:2-6個
探針臂移動:50mm*50mm*50mm
測試接口:BNC三同軸
測試精度:100fA
可搭配儀器:源表、半導(dǎo)體參數(shù)分析儀、網(wǎng)絡(luò)分析儀、示波器等。
應(yīng)用范圍:
晶圓、芯片、LED測試、高低溫測試、場晶體管、IGBT、分立器件等測試類型:IV/CV測試、RF測試 光電測試等搭配儀器:吉時利2400系列、4200系列、安捷倫B2900系列、1500系列等特點(diǎn):超高真空環(huán)境、避免氧化、結(jié)霜,77K-675K溫度測試范圍,外置探針臂操作更穩(wěn)定、精準(zhǔn),可兼容不同類型顯微鏡滿足不同觀察要求、可滿足光譜測試、液氮開循環(huán)制冷,降低研發(fā)成本,模塊化設(shè)計、后期可無縫升級配置。
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